罗茨泵配置前级泵应考虑哪些问题

罗茨泵它是不可以单独使用的,在使用它之前我们还需要给它配上前级泵然后在组成机组,我们使用前级真空泵是为了让它降低泵的排出压力,由于这个泵的压缩比它是有限的,所以我们在选择前级真空泵的抽速是比较重要的。罗茨泵的较大压缩比是随排出压力而变化的,在高排出压力下,较大压缩比较多大3:1,而较高压缩比是在排出压力为1到10mbar之间(1 mbar=0.75Torr)可达50:1,甚至还高些。因此,选择前级泵的抽速,要根据罗茨真空泵的长期工作压力范围考虑。
罗茨泵

例如有一系统用罗茨泵机组抽气,要求在1mbar入口压力时有600升/秒的抽速,并长期工作,问应选择多大抽速的前级泵。先假定用30升/秒的前级泵时,压缩比K=600:30=20得出K=20时较大排出压力为30 mbar。由此得出,当选用30升/秒前级泵时,在入口压力低于1.5 mbar以下工作是可行的,但高于1.5 mbar入口压力工作时便选用大一些前级泵了。该例中,工作真空度1 mbar低于1.5 mbar,所以30升/秒的前级泵可以满足上述真空系统的抽气要求。

在选择罗茨泵之前它机组的压力的要求,也是在开始选择前级泵的时候需要我们自己考虑的,如果我们对真空度要求较高(达1X10-3Pa~1X10-2 Pa压力)一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵。真空度要求在(1X10-2 Pa~1X10-1Pa)之间可选用单级油封机械泵作为前级泵,真空度要求在133~1333Pa之间可选用往复式真空泵或液环式真空泵作为前级泵。
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